FTIR-Spektroskopie zur Bestimmung der optischen Eigenschaften von Halbleitern


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Inhalt der Arbeit

IR-Spektroskopie

FTIR-Spektroskopie

Spektrometer IFS48

Messspektren

Zusammenfassung

Geschichte

Exkurs:
IR-Ellipsometrie

Vortrag:
FTIR & IRSE


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Inhaltsverzeichnis der Wissenschaftlichen Arbeit

Zu den farbig hervorgehobenen Punkten finden Sie Auszüge auf dieser Heimatseite.

1 Einleitung
2 Fourier-Transform-Infrarot-Spektroskopie
2.1 Infrarot-Spektroskopie
2.2 Grundlagen der FTIR-Spektroskopie
2.2.1 Das FTIR-Spektrometer
2.2.2 Die Spektrenberechnung
2.2.3 Praktische Durchführung der Spektrenberechnung
2.3 Erweiterte Aspekte der Spektrenberechnung
2.3.1 Auflösung
2.3.2 Leakage Effekt und Apodisation
2.3.3 Picket-Fence-Effekt und Zerofilling
2.3.4 Phasenkorrektur
2.4 Vor- und Nachteile der FTIR-Spektroskopie
3 Theoretische Grundlagen zur Bestimmung optischer Konstanten
3.1 Grundbegriffe und Definitionen
3.2 Planparallele Schicht
3.3 Gitterschwingungen und lokale Moden
3.3.1 Zweiatomige lineare Kette
3.3.2 Phononen und Gitterschwingungen
3.3.3 Lokale Moden
3.4 Dispersionstheorie für Gitterschwingungen und freie Ladungsträger
4 Darstellung und Diskussion der Ergebnisse
4.1 GaAs undotiert
4.2 GaAs dotiert
4.3 GaNxAs1-x
4.3.1 Probenmorphologie
4.3.2 Auswertung und Ergebnisse
5 Zusammenfassung
Literaturverzeichnis
Anhang
A Das FTIR-Spektrometer IFS 48
B Ergänzungen zum Messen mit dem IFS 48
B.1 Interferenzen
B.2 Einfluss von atmosphärischen H2O und CO2
B.3 Messen des Reflexionsvermögens mit polarisiertem Licht
B.4 Empfehlung zur Wahl der Parameter









Carsten Bundesmann, 2001 & 2014 [Zurück zum Seitenanfang]