FTIR-Spektroskopie zur Bestimmung der optischen Eigenschaften von Halbleitern
Exkurs:
IR-Ellipsometrie
Vortrag:
FTIR & IRSE
Leerkanalspektrum
Abbildung 1 zeigt das mit dem IFS 48 gemessene Leerkanalspektrum, das heißt, das ohne Probe gemessene Spektrum. Das Spektrum ist einmal mit und einmal ohne Trockenluftversorgung dargestellt.
Abbildung 1: Leerkanalspektrum des IFS 48 mit und ohne Trockenluftversorgung
Die Trockenluftversorgung saugt aus dem Spektrometer die Luft ab und bläßt trockene Luft hinein. Dadurch wird der Einfluss des atmosphärischen H2O verringert, dessen Schwingungsmoden im Bereich des infraroten Spektrums liegen. In der Abbildung erkennt man deutlich erhöhte Verluste in den Bereichen 200 cm-1 - 500 cm-1, 1300 cm-1- 2000 cm-1 und 3550 cm-1 - 3950 cm-1, die auf das in der Luft enthaltene H2O zurückzuführen sind und durch die Trockenluft stark unterdrückt werden. Die Verluste im Bereich 2300 cm-1 - 2400 cm-1 und bei etwa 670 cm-1 haben ihre Ursache im atmosphärischen CO2. Sie werden durch die Trockenluft nur gering beeinflusst.
Literatur
| [1] | H. Günzler und H. Böck: IR-Spektroskopie, Eine Einführung; Verlag Chemie, Weinheim, 1990 |
| [2] | J. M. Hollas: Modern Spectroscopy; John Wiley & Sons, New York, 1992 |
| Carsten Bundesmann, 2001 & 2014 | [Zurück zum Seitenanfang] | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||